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研究电镀Cu膜的钝化层和膜厚对其机械行为的效应，利用标准的显微加工硅技术制备成独立式Cu膜，在Cu膜两面溅射沉积的Ti膜厚为20～50nm，使Cu膜产生钝化层，制备成各种厚度和不变显微组织的独立式Cu膜，估算其膜厚产生的效应，将给定厚度的镀层先在高温下进行真空退火，稳定其显微组织，
20050201 不变显微组织独立式电镀Cu膜的钝化层和膜厚对其机械行为的效应（会议录）．Mckerrow A J et al.Thin Films：Stresses and Mechanical P
【摘 要】
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研究电镀Cu膜的钝化层和膜厚对其机械行为的效应，利用标准的显微加工硅技术制备成独立式Cu膜，在Cu膜两面溅射沉积的Ti膜厚为20～50nm，使Cu膜产生钝化层，制备成各种厚度和不变显微组
【出 处】
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表面工程资讯
【发表日期】
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2005年2期
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