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通过对测长类仪器校准过程中激光光路的正确设计，最大限度地消除了校准过程中的各类测量误差，保证校准数据的真实可靠，同时对测长机示值误差校准结果的测量不确定度进行评定。
激光干涉仪在测长类仪器校准中的运用
【摘 要】
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通过对测长类仪器校准过程中激光光路的正确设计，最大限度地消除了校准过程中的各类测量误差，保证校准数据的真实可靠，同时对测长机示值误差校准结果的测量不确定度进行评定。
【机 构】
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南京晨光集团有限责任公司计量中心
【出 处】
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工业计量
【发表日期】
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2013年3期
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