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对化学气相沉积（CVD）中输运现象的研究进行了总结。重点阐述了典型的水平式和垂直式CVD反应器中混合对流的模拟结果，以及反应器几何形状、壁面温度、流体流速、压强、浓度梯度等因素对其的影响。
化学气相沉积中输运现象的研究
【摘 要】
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对化学气相沉积（CVD）中输运现象的研究进行了总结。重点阐述了典型的水平式和垂直式CVD反应器中混合对流的模拟结果，以及反应器几何形状、壁面温度、流体流速、压强、浓度梯度等
【机 构】
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江苏大学能源与动力工程学院
【出 处】
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工业加热
【发表日期】
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2008年6期
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