【摘 要】
：
建立了微型薄膜体声波谐振器的等效电路模型,研究其整体频率响应特性。提出的等效电路模型考虑了氧化锌压电薄膜两端电极和作为支撑层的氮化硅薄膜对谐振器整体性能的影响,将
【基金项目】
：
厦门大学引进人才科研启动基金资助（0000-X07191）
论文部分内容阅读
建立了微型薄膜体声波谐振器的等效电路模型,研究其整体频率响应特性。提出的等效电路模型考虑了氧化锌压电薄膜两端电极和作为支撑层的氮化硅薄膜对谐振器整体性能的影响,将它们作为传输线引入到等效电路当中。运用PSPICE软件研究了谐振器各结构层的尺寸参数对谐振器谐振频率、品质因数和有效机电耦合系数的影响,并讨论了使用不同材料的电极,谐振器品质因数的变化情况。基于以上分析,对谐振器的结构参数进行优化,获得薄膜体声波谐振器性能的提高。
其他文献
2007年11月8日，美国国家半导体有限公司美国总部、音响芯片应用工程师Troy Hurbner先生、香港总部音响芯片设计中心经理陈达华先生、音响芯片工程师李建强先生、北京办事处音
坚持绿色发展理念,建设环境友好型社会是我们对日益严重的生态环境问题的回应。因为学科设置的特殊性,农林高校的大部分毕业生将来会成为从事生态环境保护的专业人才,因此,培
随着我国的市场经济改革进一步深化，竞争也越来越激烈，企业在市场经济环境中面临的风险与挑战也随之增加。因此要使企业更好的适应市场经济发展的需求，不仅要做好企业内部控制与
丰富多彩的卫星广播电视节目，吸引了无数人的目光，给人增添无数的好奇与幻想，卫星电视接收套站由上世纪八十年代万元级昂贵价格的模拟接收套站到如今几百元的数字接收套站，技术的
一、新造林八大技术措施1.林地选择。当岗松,背阴衫,向阳山坡种油茶。乌土油笃笃,石壳山上果要落。1米土层,排水良好,酸性土壤。缓坡中下部的阳坡、半阳坡。2.良种壮苗。劣种
犯罪嫌疑人何孝桂,女,64岁,江永县松柏乡南峰山村村民,因失火烧毁防护林,于2009年11月10日被江永县人民检察院依法批准逮捕。2009年10月6日上午,犯罪嫌疑人何孝桂
AD-66H是广州天逸电子有限公司最新推出的一部优质HI-FI合并式放大器,该机声音美艳、造型悠雅、价格实惠,是为HI-FI发烧友留足充分玩机、摩机升级空间的入门级发烧靓机,有望
北京欧博音响公司和北京巴维克音响公司最近联合推出一个音箱品牌：B＆C（barque＆consonance）。新推出的产品为两款号角音箱，型号分别为M12和M15．即一款12英寸和一款15英寸低音的号角音
在目标跟踪过程中,由于目标与传感器相对位置的变化以及目标不同部位的反射干扰,传感器测量数据中的测量噪声不再是严格意义上的高斯噪声,而变为具有长拖尾特性的闪烁噪声,而闪烁噪声的出现将严重影响线性卡尔曼滤波器的滤波性能。机动目标跟踪算法应同时考虑目标运动模式变化和闪烁噪声出现对滤波过程的影响。将滤波方程集合划分为包含不同目标运动模式的模型集合,提出了基于模型集合切换的机动目标跟踪(MSSM)算法。仿真