【摘 要】
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利用MEMS工艺,设计并制作了一种梳齿推挽驱动的微型磁场传感器。在器件工作时,磁传感器的谐振振子工作在收缩或扩张的模态,进而引起谐振振子上的双层铝线圈包围面积发生变化,
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海芯敏微系统技术有限公司
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利用MEMS工艺,设计并制作了一种梳齿推挽驱动的微型磁场传感器。在器件工作时,磁传感器的谐振振子工作在收缩或扩张的模态,进而引起谐振振子上的双层铝线圈包围面积发生变化,即回路线圈中的磁通量发生变化。根据电磁感应原理,将会在线圈的两端产生正比于磁场强度的感应电压。推挽驱动结构设计增加了谐振器驱动力,提高了磁传感器的灵敏度。实验结果表明:磁传感器在大气环境下的灵敏度为0.846 99 m V/T,非线性度为-0.265%。由于传感器采用差分检测电路,减小了磁传感器的零偏电压,零偏输出电压仅为0.001 9 m V。
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