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研究型实验是培养大学生创新意识、创新能力和科学研究素养的重要教学内容.以等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术制备硅基薄膜为例,详细介绍了开展研究型实验教学的实施方法,分析和讨论了此研究型实验对培养学生理论联系实践能力、创新能力和科学研究能力的作用.
大学研究型物理实验教学的实施与探讨——以PECVD技术制备硅基薄膜为例
【摘 要】
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研究型实验是培养大学生创新意识、创新能力和科学研究素养的重要教学内容.以等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术制备硅基薄膜为例,详细介绍了开展研究型实验教学的实施方法,
【机 构】
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河南大学物理与电子学院
【出 处】
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物理通报
【发表日期】
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2015年7期
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