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用 Ｔｉ Ｃｌ４ 作 原料 ，通 过 溶 胶凝胶 法 在 单 晶 硅 基 片 上 制 备 了 Ｔｉ Ｏ２ 纳 米 薄 膜， 并 用 Ｘ Ｒ Ｄ， Ａ Ｅ Ｓ， Ｘ Ｐ Ｓ 以及紫 外反射光 谱等手段 ，对 Ｔｉ Ｏ２ 薄膜的结 构进 行了 研究． 结 果发 现， Ｔｉ Ｏ２ 薄膜 以锐钛矿型 晶相存在 ． Ｔｉ Ｏ２ 薄膜层与 硅衬底 间无明显 的 界面 扩散 反 应． 掺杂 的 Ｐｄ 在 还原 前的 薄 膜中以氧化 态存在 ，还原后则 以高分 散的金属 态存在 ． 掺 杂的 Ｐｔ 在