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介绍了光电高精度全场形位检测系统，该系统以面阵CCD作为被测物体边缘图象的探测器件，应用激光衍射和图象处理技术进行被测物体边缘的精确定位，实现了高精度全场形位检测，该系统具有测量速度快，检测精度高及数据处理自动化等特点。整个系统是近代光9学，光电技术与微机技术的有机结合。
光电高精度全场形位检测系统的研究
【摘 要】
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介绍了光电高精度全场形位检测系统，该系统以面阵CCD作为被测物体边缘图象的探测器件，应用激光衍射和图象处理技术进行被测物体边缘的精确定位，实现了高精度全场形位检测，该系统
【机 构】
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北京航空航天大学
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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1994年4期
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