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多晶硅生产方法目前应用最广的为改良西门子法。三氯氢硅作为多晶硅还原的重要原料之一,其汽化方式以及与氢气摩尔比值直接关系产品的质量和产量。本文就目前多晶硅还原中三氯氢硅的三种汽化方式进行介绍,并对其优缺点进行比较,为多晶硅生产工厂和多晶硅工艺设计提供参考。
多晶硅还原中三氯氢硅几种汽化方式的比较
【摘 要】
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多晶硅生产方法目前应用最广的为改良西门子法。三氯氢硅作为多晶硅还原的重要原料之一,其汽化方式以及与氢气摩尔比值直接关系产品的质量和产量。本文就目前多晶硅还原中三
【机 构】
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华陆工程科技有限责任公司;
【出 处】
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科协论坛(下半月)
【发表日期】
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2009年07期
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