扫描电镜X射线能谱分析法测定低能重离子注入黄豆种子的深度

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利用200kV离子注入机产生的Fe^+,Cu^+和ZN^+3种重离子分别对黄豆种子进行直流注入,以扫描电镜X射线能谱分析法测定低能重离子的注入深度。测定定结果表明,Fe^+的最大注入深度未超过18μM,cU^+,Zn^+的最大注入深度可达25μm。
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