【摘 要】
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使用等离子浸没离子注入和反应沉积(Plasma immersion ion implantation and reaction deposition, PIIID)的方法合成了氧化钛/氮化钛梯度薄膜.研究开发了一套由可编程逻辑控
【机 构】
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西南交通大学材料科学与工程学院生物材料与表面工程研究所
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使用等离子浸没离子注入和反应沉积(Plasma immersion ion implantation and reaction deposition, PIIID)的方法合成了氧化钛/氮化钛梯度薄膜.研究开发了一套由可编程逻辑控制器(Programmable Logical Control, PLC)、D/A和质量流量控制器(Mass Flow Control, MFC)组成的智能控制系统,控制金属源阴极的推进和气体成分的改变.现场使用表明,整个控制系统稳定、可靠,具有较强的抗干扰能力,能够灵活方便地设置
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