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本文介绍了单片集成GaAs MESFET微波开关的设计方法和制作工艺.利用空气桥和通孔接地等工艺技术,研制成的调配型宽带单刀单掷开关在0.01~7GHz内,插损为2~3.5dB,隔离度不小于32dB;分布型宽带单刀双掷开关在4.5~7GHz内,插损为1~2dB,隔离度不小于21dB,5GHz下的最大功率容量为3瓦.实验也证实电路的开通时间小于0.6ns.