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的薄膜光学参数不确定度.这两种方法不仅在提高薄膜光学参数测量精度上具有明显的实用价值,而且物理意义明确,町操作性强,不局限于特定波段和特定材料的薄膜光学参数测量,具有良好的普适性,可望在薄膜光学参数的准确测量技术中发挥重要作用.
减小由光谱测量数据误差造成的薄膜光学参数反演不确定度的方法
【摘 要】
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的薄膜光学参数不确定度.这两种方法不仅在提高薄膜光学参数测量精度上具有明显的实用价值,而且物理意义明确,町操作性强,不局限于特定波段和特定材料的薄膜光学参数测量,具
【机 构】
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国防科技大学光电科学与工程学院光电工程系
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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2004年期
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