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SPC(统计制程控制)是一种生产过程质量控制的重要工具.SPC系统对生产过程进行实时分析评价,根据反馈信息及时发现系统性因素出现的征兆,并采取措施消除其影响,使过程维持在仅受随机性因素影响的受控状态,以达到控制质量的目的.文中分析了半导体Fab厂中SPC系统的开发与应用.
Fab厂中SPC系统的开发与应用
【摘 要】
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SPC(统计制程控制)是一种生产过程质量控制的重要工具.SPC系统对生产过程进行实时分析评价,根据反馈信息及时发现系统性因素出现的征兆,并采取措施消除其影响,使过程维持在仅
【机 构】
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西安电子科技大学计算机外部设备研究所
【出 处】
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电子科技
【发表日期】
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2003年22期
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