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对2×2聚合物波导垂直耦合器的理论设计和制作过程进行了研究。首先,利用光束传播法(BPM)设计并研究了垂直耦合器的关键参数(交叉角、垂直耦合层厚度)与耦合效率和消光比之间的关系。模拟结果表明,耦合效率最高为93%,消光比最高为29dB。其次,利用标准光刻工艺制作了波导尺寸为4×4μm,垂直耦合层厚度为2μm,相对交叉角为1.0°的聚合物波导垂直耦合器。实验结果表明,采用聚合物制备波导垂直耦合器,具有工艺简单、灵活的优点。