【摘 要】
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微型机械用Ｎｉ┐Ｔｉ形状记忆合金薄膜的新热处理法微型机械日益广泛地用于医学、生物学、半导体产业等许多科技和工业领域中，发挥了重要作用。Ｎｉ－Ｔｉ形状记忆合金薄膜用于制作微型致动器是
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微型机械用Ｎｉ┐Ｔｉ形状记忆合金薄膜的新热处理法微型机械日益广泛地用于医学、生物学、半导体产业等许多科技和工业领域中，发挥了重要作用。Ｎｉ－Ｔｉ形状记忆合金薄膜用于制作微型致动器是一种不可缺少的材料。最近，日本金属材料技术研究所与筑波大学合作开发成功...
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