低真空中脉冲激光烧蚀凹腔的实验分析

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在低真空条件下,利用Nd:YAG激光器产生的波长532nm、脉宽4.4ns的脉冲激光聚焦在置于低真空中的于钢铁样品,分析了激光作用后形成的凹腔形貌与激光能量密度、脉冲个数的关系。结果显示,凹腔的直径和深度随激光能量密度及脉冲个数的增大而增加,并且在能量密度小于20GW/cm~2及脉冲个数小于100的情况下凹腔的直径和深度增幅更为明显,反之,其增加趋势变缓。 Under the conditions of low vacuum, a laser pulse with a wavelength of 532 nm and a pulse width of 4.4 ns produced by a Nd: YAG laser was focused on a steel sample placed under a low vacuum to analyze the morphology of the cavity formed by the laser and the laser energy density , The relationship between the number of pulses. The results show that the diameter and depth of the cavity increase with the increase of the laser energy density and pulse number, and the diameter and depth of the cavity increase more when the energy density is less than 20GW / cm ~ 2 and the pulse number is less than 100 For the obvious, on the contrary, its increasing trend slows down.
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