【摘 要】
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介绍了新型工业用磷化氢尾气解毒装置TP-1型磷化氢解毒装置的流程，结构及模拟工业条件进行的脱磷深度和脱酯容量实验。结果表明，该装置脱磷磷深度可达0．03ppm，穿透脱磷容量为88克
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介绍了新型工业用磷化氢尾气解毒装置TP-1型磷化氢解毒装置的流程，结构及模拟工业条件进行的脱磷深度和脱酯容量实验。结果表明，该装置脱磷磷深度可达0．03ppm，穿透脱磷容量为88克/公斤。该装置脱磷深度高，结构简单，操作方便，体积小，重量轻，能耗低，可用于半导体等行业含磷化氢的尾气处理，也可用于钢瓶中残存磷化氢气体的处理等领域。
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