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本文描述了我们研制的超高真空粘附、摩擦实验装置,实现了超高真空条件下原位分析不同固体表面对粘附、摩擦性能的影响。实验研究证明该装置性能稳定,能满足设计要求。
超高真空粘附、摩擦实验装置的研制
【摘 要】
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本文描述了我们研制的超高真空粘附、摩擦实验装置,实现了超高真空条件下原位分析不同固体表面对粘附、摩擦性能的影响。实验研究证明该装置性能稳定,能满足设计要求。
【机 构】
：
中科院固体物理所,中科院固体物理所
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1989年3期
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