【摘 要】
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采用溶胶-凝胶（sol-gel）法,使用浓度分别为0.1M、0.2M和0.3M的前驱体溶液,在单晶Si（100）衬底上制备了LaNiO3（LNO）导电薄膜,研究了前驱体溶液浓度对LNO薄膜结构和导电性能的影响.X射
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采用溶胶-凝胶（sol-gel）法,使用浓度分别为0.1M、0.2M和0.3M的前驱体溶液,在单晶Si（100）衬底上制备了LaNiO3（LNO）导电薄膜,研究了前驱体溶液浓度对LNO薄膜结构和导电性能的影响.X射线衍射测试表明,三种样品均为纯的钙钛矿相,具有较好的（110）择优取向.扫描电子显微镜截面分析显示,用0.2M前驱体溶液制备的LNO薄膜样品厚度均匀,与Si衬底间没有明显扩散.采用标准四探针法测试了三种样品的电阻率,当前驱体溶液浓度为0.2M时,样品电阻率最小,仅为2.08×10^-3
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