无线MEMS传感系统在燃气轮机等恶劣环境下的应用

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燃气轮机是应用于航空、能源、海陆交通等诸多领域的重大核心装备之一。对燃气轮机工作过程中各项环境参数(如温度、压力等)的实时监测,可进一步完善和优化燃气轮机结构、提高效率、减少排放和降低维护费用。新近发展起来的基于微机电系统(MEMS)技术的传感系统在高温、高压等恶劣环境下具有无可比拟的应用优势,特别是在恶劣工作条件下以燃气轮机为代表的大型机电设备的各项环境参数监测中,应用潜力巨大。本文对燃气轮机等恶劣环境下的传感技术、无线信号传输技术及SiC无线MEMS传感系统实现方案进行了综合介绍、评述和讨论,并对无线MEMS传感系统在燃气轮机等恶劣环境下的应用进行了展望。 Gas turbine is used in aviation, energy, land and sea transport and many other major core equipment. Real-time monitoring of various environmental parameters (such as temperature, pressure, etc.) of the gas turbine during operation can further improve and optimize the gas turbine structure, increase efficiency, reduce emissions and reduce maintenance costs. The newly developed sensing system based on micro-electromechanical systems (MEMS) has unparalleled application advantages in harsh environments such as high temperature and high pressure, especially in the large-scale electromechanical equipment represented by gas turbines in harsh working conditions Environmental parameters monitoring, the application of great potential. In this paper, we introduced, reviewed and discussed the sensor technology, wireless signal transmission technology and SiC wireless MEMS sensor system in gas turbines and other harsh environments. The application of wireless MEMS sensor system in harsh environments such as gas turbines Looking forward.
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