论文部分内容阅读
本文综术了集成电路工艺的Cu布线中Cu薄膜化学气相沉积(CVD)的研究背景,详细介绍了CVD生长Cu金属薄膜的国内外研究进展及CVD对前趋物的要求,并对前趋物的一些物理、化学性质进行了总结,最后,对薄膜沉积的计算机摸拟作了简要介绍.
化学气相沉积铜薄膜研究进展
【摘 要】
：
本文综术了集成电路工艺的Cu布线中Cu薄膜化学气相沉积(CVD)的研究背景,详细介绍了CVD生长Cu金属薄膜的国内外研究进展及CVD对前趋物的要求,并对前趋物的一些物理、化学性质
【机 构】
：
浙江大学化学系
【出 处】
：
真空科学与技术
【发表日期】
：
2003年5期
其他文献
当前离散型制造企业管理的不透明,导致生产现场出现的各种问题不能及时、有效、直观地呈现,致使管理者难以做出调整和决策,现提出管理驾驶舱系统,其能有效解决该问题。首先介
为了研究民用飞机重心调节系统液体晃动行为对飞机操稳特性的影响,提出了以VOF法模拟罐内液体晃动的方法,通过有限元软件ANSYS模拟了不同充液比下防晃隔板对晃动的抑制情况。
探讨了用硝酸亚铈通过溶胶－凝胶法制备ＣｅＯ２薄膜的制备工艺。用Ｘ射线和扫描电子显微镜分析了薄膜的显微形貌及其晶体结构，借助Ｘ射线光电子能谱研究了薄膜表面元素Ｃｅ的化学态。结果表明，用
目的探讨在急诊创伤患者中应用循证护理的效果。方法选取2016年5月~2017年5月我院急救中心门诊收治的创伤患者72例作为研究对象,将其随机分成两组,各36例,其中对照组护理模式
目的探究手术室优质护理对急诊患者的身心影响。方法选择2013年9月~2016年9月我院手术室收治的急诊患者80例作为研究对象,依据随机原则分成观察组和对照组,各40例。对照组实
目的观察改良式补丁缝合技术治疗前置胎盘剖宫产术中出血的止血效果。方法前置胎盘术中胎盘剥离面活动性出血患者85例,按随机数字表法分为研究组43例和对照组42例,研究组在胎