基于可控Cd掺杂In2O3纳米线的电学特性研究

来源 :合肥工业大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:lmj1103
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文章利用化学气相沉积法合成了不同摩尔比的Cd掺杂的In2O3纳米线,制备了基于单根In2O3纳米线的底栅场效应晶体管,并研究了其电输运特性。结果表明,相对未掺杂的In2O3纳米线,In2O3:Cd纳米线的电导率有1-2个数量级变化,载流子迁移率高达58. cm^2/(V·s),载流子浓度高达3.7×10^18cm^-3。可控Cd掺杂In2O3纳米线将在纳米光电子器件方面有着广泛的应用前景。
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