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电子轰击电荷耦合器件（EBCCD）是一种微弱光信号成像器件，由于采用了内耦合的背照电荷耦合器件（CCD）结构，大大提高了该器件的探测灵敏度以及信噪比，使其探测的弱光下限能更低。采用国产面照CCD，成功研制出了具有背照功能的CCD以及能耐电子轰击的EBCCD。简单介绍了这种器件的工作原理、结构特点以及关键研究内容，并列出了实验分析及结果。