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介绍了一套以积分网络为基础的新型Langmuir探针系统。该系统使用积分网络进行数据采集，在数据采集过程中同步完成模傲转换，有效地抑制了噪音干扰。以数据采集卡为接口与计算机系统进行数据通信，提出了一种在等离子体诊断中有效抵制噪音干扰的方法，大幅度提高了探针的信噪比。探针系统已成功地应用于ECR等离子体源中。实验表明：该探针系统具有良好的抗干扰效果，得到的I-V特性曲线平滑，无明显的背景干扰信号，获得高出普通Langmuir探针10．9dB的探针信噪比。