【摘 要】
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在公司批量生产HDI板最小线宽/间距为75 m/75 m的能力的基础上制作了线宽/间距为50 m/50 m的精细线路,试验用LDI曝光机曝光后再用正交试验法的L9(34)正交表安排了显影速度、
【机 构】
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在公司批量生产HDI板最小线宽/间距为75 m/75 m的能力的基础上制作了线宽/间距为50 m/50 m的精细线路,试验用LDI曝光机曝光后再用正交试验法的L9(34)正交表安排了显影速度、蚀刻速度、显影压力、蚀刻压力四因素试验,选取线宽和蚀刻因子作为指标。通过对两个指标的综合分析,试验得到最佳工艺参数为:显影速度为4.0 m/min,显影上压力为0.18 MPa,下压力为0.15 MPa,蚀刻速度为4.5 m/min,蚀刻上压力为0.28 MPa,下压力为0.25 MPa。
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