室温晶片键合界面的弹性理论分析

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利用接触弹性力学的DMT(Derjaguin,Muller,Toporov)理论,考虑晶片表面起伏的随机性,导出了晶片键合的实际接触面积和有效键合能.并对结果进行了数值分析.讨论了影响室温键合强度大小的各种因素.
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