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期刊论文
室温晶片键合界面的弹性理论分析
室温晶片键合界面的弹性理论分析
来源 :光电子技术与信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lzayy9
【摘 要】
:
利用接触弹性力学的DMT(Derjaguin,Muller,Toporov)理论,考虑晶片表面起伏的随机性,导出了晶片键合的实际接触面积和有效键合能.并对结果进行了数值分析.讨论了影响室温键合
【作 者】
:
陈斌
周震
黄永清
任晓敏
【机 构】
:
北京邮电大学光通信中心
【出 处】
:
光电子技术与信息
【发表日期】
:
2005年1期
【关键词】
:
室温晶片键合
接触弹性力学
吸附能
表面能
room temperature wafer bonding
contact elasto-mechanics
【基金项目】
:
国家自然科学基金,国家自然科学基金
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利用接触弹性力学的DMT(Derjaguin,Muller,Toporov)理论,考虑晶片表面起伏的随机性,导出了晶片键合的实际接触面积和有效键合能.并对结果进行了数值分析.讨论了影响室温键合强度大小的各种因素.
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