【摘 要】
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为实现MEMS微小腔体压强测量与监控,提出了基于单金属丝皮拉尼型低压测试方法。采用CFD-ACE＋软件建立微型皮拉尼计有限体积模型,进行了仿真分析。基于四探针法原理,完成了不同
【机 构】
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南京电子器件研究所,微米/纳米加工技术国家级重点实验室
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为实现MEMS微小腔体压强测量与监控,提出了基于单金属丝皮拉尼型低压测试方法。采用CFD-ACE＋软件建立微型皮拉尼计有限体积模型,进行了仿真分析。基于四探针法原理,完成了不同尺寸和材料的金属丝压强测试和标定试验。测试结果表明：采用铂丝等单金属丝结构可以实现MEMS器件封装内部1 Pa~1 000 Pa压力检测。在测量范围内,金属丝直径越小,长度越长,加载电流越大,皮拉尼计灵敏度越高。
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