高矫顽力NdFeB永磁薄膜的研究进展

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NdFeB永磁材料具有优异的性能而广泛应用于各种电子器件及系统中。电子器件及系统的微型化要求NdFeB永磁材料薄膜化,而绿色经济和低碳经济的发展又扩大了对高矫顽力NdFeB永磁薄膜的需求。综合介绍了NdFeB永磁薄膜的制备方法,着重论述了磁控溅射法制备高矫顽力Nd FeB永磁薄膜的研究进展,最后展望了高矫顽力NdFeB薄膜研究未来的发展方向。
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