【摘 要】
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样品为P型的Si（111）片上真空充氩溅射了铂膜，厚度分别为540．700和1000A（用^244Pu同位素x光萤光法测量）。用连续的Nd：YAG激光扫描，速率恒定在14．3（mm·sec^-1）时，功率分别为0．3，2．1，3．9，5．7和
【机 构】
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上海建筑材料工业学院,中科院上海硅酸盐研究所
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样品为P型的Si（111）片上真空充氩溅射了铂膜，厚度分别为540．700和1000A（用^244Pu同位素x光萤光法测量）。用连续的Nd：YAG激光扫描，速率恒定在14．3（mm·sec^-1）时，功率分别为0．3，2．1，3．9，5．7和7．8w；当激光功率恒定在3w时，扫描速率分别为9．3，11．5，14．3，16．9和21．9（mm·sec^-1）。激光辐照后，样品的卢瑟福背散射谱（RBS）表明了界面上铂硅化物的生成，铂含量在0．19至1．05之间变化；而x-射线衍射分析（XR
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