论文部分内容阅读
由沉积工艺产生的残余应力对RF MEMS开关的动态特性有重要影响。利用变量分离法推导出桥模式RF MEMS开关的频率方程组。给出二分法求解频率方程的流程图，并进行实例计算。计算结果表明，残余应力引起的频率偏移随着t／L的减小而增加；残余应力与频率偏移之间呈现出明显的非线性特性。
残余应力对RF MEMS开关谐振频率偏移的影响
【摘 要】
：
由沉积工艺产生的残余应力对RF MEMS开关的动态特性有重要影响。利用变量分离法推导出桥模式RF MEMS开关的频率方程组。给出二分法求解频率方程的流程图，并进行实例计算。计算
【机 构】
：
上海理工大学光电学院精密仪器研究所
【出 处】
：
噪声与振动控制
【发表日期】
：
2007年6期
其他文献
答：临床有时遇到糖尿病晚期（大血管微血管并发症均较重）患者反复发作上吐下泻，呕吐物为棕色液体，一日腹泻10余次水样便，患者极度虚弱。治疗颇为棘手：一是输液太多增加静体重，血液透析
讨论了DeviceNet现场总线的远程通信系统的优点，提出了基于DeviceNet总线的风机远程监测及故障诊断系统的组成和实现方案，并通过OPC接口解决了现场数据与远程应用程序之间的实
1964年，慧鱼创意组合模型（Fiachertechnik）诞生于德国，是技术含量很高的工程技术类智趣拼装模型，是展示科学原理和技术过程的理想教具，也是体现世界最先进教育理念的学具，为创新教育
将CuZnAl形状记忆合金用于框架结构的减振控制,试验结果表明,可使框架具有较大的阻尼比,利用Matlab的Simulink模拟框架的振动情况,通过计算所得框架的阻尼比调整修正各个模块
对线性结构中的不确定性参数用区间表示，提出用区间逐步离散法求解结构动力响应。即将不确定性参数取区间离散点的值，将区间动力方程的求解转化为相应确定性问题，再搜索方程解中
2006年10月本文作者访问了美国教育技术学领域的名牌专业：佛罗里达州立大学教学系统专业和学习系统研究所。本文介绍了该专业的历史、现状，特别是当前研究的主要课题，以及对我国
本文归纳了建构主义认识论的基本观点，并对其本体论、认识论、生存力进行了分析。建构主义认识论的兴起体现着时下哲学思维的发展和变革。对建构主义认识论的辩证探讨是本文的
在机场航班量大幅增加和机场扩建的同时,机场航空噪声问题越来越突出。传统的评价方法是参照国家标准,根据实测值进行评价。考虑机场航空噪声对居民影响的客观条件和主观反应
“两课”是高校思想政治教育的核心，是高校思想政治教育的重要阵地。也是向学生传播正确的人生观、价值观的重要渠道。然而，在信息技术高速发展、知识经济为主流的当代社会，“两
学科建设的首要任务，是构建其理论体系。本文从军事教育技术学学科建设的需要出发，阐述了军事教育技术和军事教育技术学的基本概念、军事教育技术学理论体系框架、军事教育技术