基于3D打印技术的微电子器件制造

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liubmhz

【摘要】

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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技

【作者】

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樊宁唐文来杨继全

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

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3D打印微电子微加工柔性电子传感器

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目(51805272);江苏省重点研发计划资助项目(BE2018010-1,BE2018010-2);江苏省高等学校自然科学研究基金资助项目(18KJB460022)

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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技术领域,包括主机、控制电路和计算机三部分组成,主机包括由棱镜。敏感膜敏感芯片、半导 Ue*M#

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