行波电极测试系统中的共面微波探针研究

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微波探针是测量系统与芯片之间传输信号的媒介,是实现半导体芯片的在片检测和筛选的重要工具之一。研究了一种用于测试行波电极的G-S-G型共面微波探针,通过理论仿真得到了优化的微波探针参数,并进行了微波探针的制备实验。最后通过矢量网络分析仪对探针进行性能测试。测试结果表明微波探针具有10GHz左右的3dB带宽。在13GHz频率范围内,微波探针具有较低的插入损耗。该探针性能优良,成本低,工艺简单,对于促进电光调制技术与光电器件的发展具有重要意义。
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