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电迁移（Electro—Migration，EM）是集成电路可靠性研究的重要项目之一。本文基于JESD63，基于最小二乘法（LSE）和基于极大似然估计（MLE）来研究不同的统计方法对电迁移的样本估计（t50,σ）和模型参数估计（Ea，n）的影响，并列举了不同统计方法在不同情况下的应用。为电迁移的数据分析提供了更多更灵活的处理方法，此外，对TDDB（Time Dependent Dielectric Breakdown）的参数估计同样适用。