【摘 要】
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介绍了一种半绝缘ＩｎＰ（Ｆｅ）的低温氯化物气相外延（ＶＰＥ）生长方法，生长温度为５５０℃，可为金属有机气相淀积的量子阱结构二次外延半绝缘ＩｎＰ（Ｆｅ）盖层。４０μｍ层厚时电阻率超过５×１０８Ωｃｍ，临界击穿电压达到１０Ｖ以上。用这种方
【机 构】
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集成光电子国家重点联合实验室吉林大学实验区
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介绍了一种半绝缘ＩｎＰ（Ｆｅ）的低温氯化物气相外延（ＶＰＥ）生长方法，生长温度为５５０℃，可为金属有机气相淀积的量子阱结构二次外延半绝缘ＩｎＰ（Ｆｅ）盖层。４０μｍ层厚时电阻率超过５×１０８Ωｃｍ，临界击穿电压达到１０Ｖ以上。用这种方法制备的激光器阈值电流达８０ｍＡ，较平板式的降低３倍，远场图样平行和垂直结平面方向光功率曲线对称性良好，远场发散角，器件测试得到较好光谱。目前尚未见到其它类似报道。
A low temperature chloride vapor phase epitaxy (VPE) growth method of semi-insulating InP (Fe) is introduced. The growth temperature is 550 ℃, which is a quantum well structure secondary epitaxial semi-insulating InP (Fe) cap layer with metal organic vapor deposition . 40μm layer thickness resistivity exceeds 5 × 108Ωcm, the critical breakdown voltage of 10V or more. The threshold current of the laser prepared by this method reaches 80mA, which is 3 times lower than that of the flat panel. The symmetry of the optical power curve in the far-field pattern and the vertical junction plane is good, and the far-field divergence angle and the device test get a good spectrum. No other similar reports have been seen so far.
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