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Lucent Technologies Bell实验室的研究人员声称他们已经制造出最小的电子器件,这是首次用光刻方法实现的.
利用光刻制作的最小器件
【摘 要】
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Lucent Technologies Bell实验室的研究人员声称他们已经制造出最小的电子器件,这是首次用光刻方法实现的.
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2000年8期
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