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容积式真空泵真空度测试装置的技术探讨
容积式真空泵真空度测试装置的技术探讨
来源 :四川真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qinxiaogang2009
【摘 要】
:
本文提出了替代压缩式真空计测量容积式真空泵极限真空度的必要条件,并研制一种新颖的能完全替代压缩式真空计的测试仪器以及相关的装置和测试方法。
【作 者】
:
唐景远
王金锁
等
【机 构】
:
上海市计量测试技术研究院200233,上海真空泵厂201709
【出 处】
:
四川真空
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
真空测量
薄膜真空计
压缩式真空计
容积式真空泵
真空度测试装置
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本文提出了替代压缩式真空计测量容积式真空泵极限真空度的必要条件,并研制一种新颖的能完全替代压缩式真空计的测试仪器以及相关的装置和测试方法。
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