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本文主要介绍了PSD检定装置的硬件结构、工作原理和软件功能、数据处理方法.设置参数,软件控制自动检定,得出检定结果.该装置检定精度高,实现了检定的自动化和智能化.
光电位置传感器(PSD)标定系统研制
【摘 要】
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本文主要介绍了PSD检定装置的硬件结构、工作原理和软件功能、数据处理方法.设置参数,软件控制自动检定,得出检定结果.该装置检定精度高,实现了检定的自动化和智能化.
【机 构】
：
北京特种机电技术研究所
【出 处】
：
测试技术学报
【发表日期】
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2004年z1期
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