【摘 要】
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首先用化学气相沉积法制备了ZnO纳米线阵列,然后在此基础上制作了真空压强传感器。测试了基于ZnO纳米线阵列的真空压强传感器敏感特性,并与基于ZnO纳米带膜的传感器敏感特性
【机 构】
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乐山职业技术学院机电工程系,湘潭大学机械工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(10825209);四川省教育厅资助项目(15ZB0399);乐山市科技局资助项目(2015126,2015127)
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首先用化学气相沉积法制备了ZnO纳米线阵列,然后在此基础上制作了真空压强传感器。测试了基于ZnO纳米线阵列的真空压强传感器敏感特性,并与基于ZnO纳米带膜的传感器敏感特性做了比较,发现前者比后者敏感特性更好,相比传统的真空传感器,具有测量范围宽、灵敏度高和功耗低等优点。这主要是由于ZnO纳米线阵列具有较大的比表面积及氧吸附与解吸附等原因引起。
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