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以气相法二氧化硅为原料，六甲基二硅氮烷为改性剂，采用干法工艺对气相法二氧化硅表面进行改性，探讨了六甲基二硅氮烷用量、反应温度、反应时间对气相法二氧化硅表面改性效果的影响。结果表明，当六甲基二硅氮烷用量为气相法二氧化硅质量的25％、反应温度为150℃、反应时间为40min时，二氧化硅表面的硅羟基数量最少，比改性前减少97％：