平板显示贴附类设备中研磨清洗机的设计与改进

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主要阐述了新、旧两代研磨机中研磨清洗机的功能与改进,通过分析旧机构的维护难、易碎片、研磨清洗效果差等一些缺点,设计了一新型的研磨机构。新机构可以更有效研磨掉玻璃基板上的脏污,提高设备的良率,并简化调机难度。
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