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扫描电子显微镜要得到层次清晰、立体感强且分辨率高的高质量图像,荷电效应是一个重要的影响因素。对在扫描电子显微镜成像中荷电效应的成因及其解决办法进行了系统的分析。提出采用镀膜、降低加速电压及低真空的方法,可降低荷电效应的影响。
扫描电镜中荷电效应的分析
【摘 要】
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扫描电子显微镜要得到层次清晰、立体感强且分辨率高的高质量图像,荷电效应是一个重要的影响因素。对在扫描电子显微镜成像中荷电效应的成因及其解决办法进行了系统的分析。
【机 构】
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济宁国家半导体及显示产品质量监督检验中心
【出 处】
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理化检验(物理分册)
【发表日期】
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2014年01期
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