高束流密度金属注入离子源

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jydliu
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文对直接从高温石墨室的稳定金属等离子体放电中,引出高束流密度的宽束离子源的设计特点和初步试验进行了介绍。金属蒸气是通过将电子流引入到具有阳极电势的坩埚内,使其中的纯金属蒸发而得到的。当金属蒸气的数量达到能自己维持的程度时,就停止送入用于起动放电的氩气。引出的钛或铜离子束在距离子源50cm处的靶上,束斑直径可达几厘米,束流密度可达几百μA/cm~2。该系统简单、安全、易于保养。 In this paper, the design features and preliminary experiments of a wide beam ion source that emit high beam densities directly from a stable metal plasma discharge at a high temperature graphite chamber are introduced. Metal vapor is obtained by introducing a stream of electrons into a crucible having an anode potential to vaporize the pure metal therein. When the amount of metal vapor reaches the level that can be maintained by itself, the supply of argon gas for starting the discharge is stopped. Lead titanium or copper ion beam at a distance of 50cm from the source of the target beam diameter up to a few centimeters, beam current density up to hundreds of μA / cm ~ 2. The system is simple, safe and easy to maintain.
其他文献
摘要 在简便计算教学中,很多学生只简单记住简便计算的公式,没有从意义上真正理解,只有让学生从简便计算的意义和方法上找到规律,才能真正在解决问题中运用这种能力,实现计算的快速方便。  关键词 简便计算 问题分析 意义  小学阶段的“简便计算”是“数的运算”的重要组成部分。《整数运算定律应用到小数》是建立在学生已经掌握整数运算定律、熟练计算整数简便计算的基础上进行教学的。教学后,一些学生的作业出现了
摘要 计算教学不是反复机械地练习,而应是学生结合真实生活情境的亲身体验,在轻松和谐的课堂氛围中,在教师的多种方法的引导下,用自己的方式去探究、交流,魅力无限。  关键词 小学数学 计算课 教学  新课标指出:“人人学有价值的数学;人人都能获得必需的数学;不同的人在数学上得到不同的发展。”在我国小学数学教学中,历来都非常重视计算教学。计算教学关系着学生观察、记忆、思维等能力的发展,关系着学生学
兴安盟农牧学校坐落在科尔沁草原腹地的草原名城乌兰浩特市,是一所文理兼备、职教与成教协调发展的一所全日制综合性普通中等专业学校,旨在为社会培养初、中级实用型技术人才
一、森林能源的形势能是生产活动的动力,繁荣经济的基础,也是日常生活不可缺少的物质。回顾过去,可以看到,在人类进化和发展的历史长河中,森林一直是生产和生活能耗的基本来
众所周知 ,HP Design Jet大幅面打印机系列设备以其高精度、高稳定性的优异品质著称 .它的稳定性 ,并不是靠单单一台设备就能够带来的 ,而是靠着整体系统的质量保障来支撑的
思想提升作文,智慧开创人生先锋色彩,青春力量我们坚信:没有写不好作文的孩子!《新作文·初中版》·邮发代号/22-124·全年定价72元/半年定价36元《新作文·高中版》·邮发代
你是否感觉到电脑的运行速度缓慢如牛?是否感觉自己在运行主流游戏时,画质和别人机器差距很大呢?是否感觉安装某个游戏的时候需要安装好长时间呢?是否感觉在玩3D游戏的时候,
见到姚尚友,是在一个阳光明媚的下午。外表简约而不失儒雅,语调平和而富有感情,举手投足间散发出浓浓的书卷气息,这是他给人的第一印象。从一名普通教师,到著作等身的文学剧
【教学内容】人教版教材六年级下册第39页“数学游戏”。【教学目标】知识与技能:通过有趣的数学活动,让学生探索、理解、掌握剪大洞的方法。过程与方法:通过独立思考、小组
期刊
越是成功的人,越说自己浅薄;越是伟大的人,越说自己平凡。袁隆平就是这样一个人,他主持研究的超级稻,亩产已经达到926.6公斤,但在接受央视记者采访时,他仍把自己比作“种子”