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氮化变形分为生成化合物层引起膨胀和扩散层内铁的晶格膨胀所形成的物理变形，以及由这种物理变形引起的基体中的材料力学变形，根据作者对氮化变形所进行的多次试验，表明物理变形的大小为化合物层厚度的７０％，而材料力学形是由于扩散层中铁的晶格常数膨胀所引起的，其大小受变形的分布，屈服强度和氮化不均匀性等因素的影响。