表面碳化的硅纳米孔柱阵列的H2S室温电容传感特性

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 2次 | 上传用户：zou_zm

【摘要】

：

通过将硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)进行高温碳化处理,制备出一种SiC/Si-NPA复合纳米体系。对SiC/Si-NPA的表面形貌和结构表征揭示,生长于Si-NPA上的SiC薄膜由具有立方结构的SiC纳米颗粒组成,厚度为～200 nm。SiC/Si-NPA整体上保持了Si-NPA原有的柱状阵列结构特征。对浓度介于0～1 200×10-6的H2S气体的室温传感性能测试表明,SiC/Si-NPA对H2

【作者】

：

王海燕王伶俐胡青飞李新建

【机构】

：

郑州大学物理工程学院,郑州轻工业学院技术物理系

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2012年01期

【关键词】

：

H2S气体传感器 SIC 硅纳米孔柱阵列高温碳化 H2 S gas sensor SiC silicon nanoporous pillar array

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

食物致病菌快速检测系统的设计与实现

设计了食物致病菌快速检测一体化系统。基于抗原-抗体特异性结合的原理,采用TiO2纳米线束为敏感元件设计微生物免疫传感器,以高集成度芯片AD5933设计阻抗检测电路来通过电化

期刊

食品安全食物致病菌检测电化学阻抗谱TiO2纳米线免疫传感器AD5933food safety food pathogen detection e

油价无理性？

近期，国际油价似乎再次逼近每桶70美元的大关，即将成为去年“卡特里娜”飓风后的新高。国际货币基金组织（IMF）近日发出警告，能源价格居高不下会加剧全球经济失衡，并使得全球经济出现危机的风险大大增加。面对一次又一次的警告，人们再次期待着国际油价的理性回归。　　　　政治因素助推油价　　　　油价不可能很快走下坡路，不仅因为石油的需求难以降低，还在于石油的供应能力实在有限。现在，原油市场所面临的最大威胁是

期刊

国际油价理性回归国际货币基金组织全球经济经济失衡能源价格警告美元

基于快速模板匹配的智能视觉传感器设计

针对传统视觉传感器信号处理能力差、模拟信号输出易受干扰等问题,设计了基于ARM 6410处理器的智能化数字视觉传感器,应用于白车身在线视觉检测系统,完成数据采集、像素级二

期刊

智能视觉传感器快速模板匹配滚动相加LINUX平台smart visual sensor fast template matching running

个案管理方法介入辅导员贫困大学生管理可行性分析

随着高校不断的扩招,大学生人数越来越多,贫困大学生的比率也不断攀升,新时代、新环境、新特点、新要求下,传统的贫困生管理模式遇到了瓶颈,探索和利用新的理论和方法迫在眉

期刊

个案管理贫困大学生可行性

平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造

给出了一种新型的基于平面内谐振模态的电热驱动微悬臂梁的工作原理和制造方案。相比于传统的平面外谐振模态谐振式悬臂梁,该设计能有效地降低微悬臂梁在液体中工作时的拖曳

期刊

悬臂梁传感器平面内谐振模态品质因数电热驱动液体中谐振microcantilever sensorsin-plane resonance modeq

德国总理默克尔：向中国推销“德国制造”

如果说德国女总理安格拉默克尔是最让德国人好奇的总理，恐怕并不为过。这个德国历史上的第一位女总理以完全不同于其前任施罗德的行事风格在德国国内和国际上引起了不少话题和猜测。　　中德关系从科尔时期开始升温到施罗德时期进一步培育，作为其大国外交的延续，默克尔此次中国之行是否能让中德关系更上一个台阶呢？　　德国媒体对他们的总理将给中国人留下什么样的印象其实也十分好奇，一些德国媒体甚至拿他们总理的名字做文章，

期刊

德国总理制造业中国行事风格默克尔

表面碳化的硅纳米孔柱阵列的H2S室温电容传感特性

其他学术论文