自动控制离子束溅射沉积光学薄膜系统设计

来源 :光学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:suxinlan2009
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利用射频离子源RF-2001控制器USER INTERFACE接口具有遥控开关控制的功能,采用继电器控制输出及开关量隔离输入卡DAC-7325E,通过光电传感器对靶转动定位、行星转动系统的监控,在国产IBSD-1000型离子束溅射镀膜系统上,首次成功地实现了单、双离子束溅射沉积镀膜过程的自动化控制.控制软件采用VB编程,程序控制界面直观、易于操作.
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