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介绍了半导体工业真空泵油,在对其性能特点进行比较的基础上,着重对杜邦全氟聚醚油的性能、特点做了介绍,并提出利用方案.
半导体工业真空泵油的处理与再造利用
【摘 要】
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介绍了半导体工业真空泵油,在对其性能特点进行比较的基础上,着重对杜邦全氟聚醚油的性能、特点做了介绍,并提出利用方案.
【机 构】
：
杜邦中国集团有限公司北京办事处,上海泰特实业有限公司
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2002年3期
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