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以往的机器人测量系统基本上都是通过手眼标定来提高系统的精度,受各方面的影响因素较大,提出一种利用IGPS来实时获取工业机器人末端测量传感器在全局坐标系下的位置,通过轨迹规划技术保证测量轨迹时刻和被测工件表面法向相一致,为复杂零件的深孔形貌测量及基于全局位置的点云拼接奠定了基础。分析了测量机器人的运动学关系,通过仿真和实验验证了轨迹规划的正确性。