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期刊论文
平晶等厚干涉条纹一体化检测方法研究
平晶等厚干涉条纹一体化检测方法研究
来源 :机械设计与制造工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:boyanfang
【摘 要】
:
为了测量平晶表面误差,提高检测效率和精度,定义了平晶等厚干涉条纹信息提取、分析以及计算的一体化求解机制,提出了基于最小二乘法的条纹边缘拟合方法。以某型号等厚干涉仪对条纹一体化检测为例,说明了该方法搭建条纹一体化检测平台求解条纹误差的正确性、有效性与实用性。
【作 者】
:
闫雪锋
赵楠
张国亮
【机 构】
:
天津职业技术师范大学机械工程学院
【出 处】
:
机械设计与制造工程
【发表日期】
:
2020年01期
【关键词】
:
曲线拟合
等厚干涉条纹
图像处理
一体化检测
curve fittinginterference fringe of equal thicknessimage
【基金项目】
:
天津市教委科研计划资助项目(2017KJ105,JWK1718),天津职业技术师范大学科研启动资助项目(KYQD1623,KJY12-13,KYQD1908)
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为了测量平晶表面误差,提高检测效率和精度,定义了平晶等厚干涉条纹信息提取、分析以及计算的一体化求解机制,提出了基于最小二乘法的条纹边缘拟合方法。以某型号等厚干涉仪对条纹一体化检测为例,说明了该方法搭建条纹一体化检测平台求解条纹误差的正确性、有效性与实用性。
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