HTM技术中细微图形成形效果的衍射理论分析与实验结果

来源 :液晶与显示 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lujundehao

【摘要】

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针对使用半色调掩膜技术的TFT LCD玻璃基板曝光过程中的衍射和干涉现象进行了分析。文中给出了衍射和干涉现象的理论模型，并且对这两种现象在HTM技术中所起的作用进行了解释，尤

【作者】

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【机构】

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北京京东方光电科技有限公司

【出处】

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液晶与显示

【发表日期】

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2008年3期

【关键词】

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针对使用半色调掩膜技术的TFT LCD玻璃基板曝光过程中的衍射和干涉现象进行了分析。文中给出了衍射和干涉现象的理论模型，并且对这两种现象在HTM技术中所起的作用进行了解释，尤其针对不同的狭缝宽度和狭缝间距的结构进行了分析。给出了扫描电镜的图片做为进一步的说明。

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